名古屋大学大学院工学研究科 物質プロセス工学専攻 宇佐美・黒川研究室

   

s1.jpg シリコン溶融凝固装置
Furnace for Growth of Crystalline Silicon Ingot
高品質シリコンバルク多結晶の成長を行います。
s2.jpg ガスソース線分子線エピタキシー装置
Gas-source Molecular Beam Epitaxy System
ガスを原料にしてシリコンやゲルマニウムの超薄膜の成長を行います。
テスト 結晶成長その場観察装置
In situ Observation System of Crystal Growth
デジタル顕微鏡と加熱チャンバーを組み合わせたシステムで結晶成長の様子をその場観察します。
s5.jpg 多元スパッタリング装置
Sputtering System with Multiple Targets
反射防止膜やアモルファス薄膜を成膜します。
img20200803205243323903.png 抵抗加熱蒸着装置
Resistive Heating Evaporator
基板加熱機構や基板移動機構を搭載しており、シリサイドの薄膜の成長用に使用しています。
p1050758.jpg 横型炉
Horizontal Furnace
6インチ角までの試料の熱処理を行います。
p1050765.jpg 太陽電池特性評価装置
Measurement System for Solar Cells
擬似太陽光を照射し、太陽電池の変換効率測定や分光感度特性を評価することができます。
s10-1.jpg ソーラーシミュレーター
Solar Simulator
156mm角の面積に擬似太陽光を照射することができます。
p1050764.jpg X線回折装置
X-ray Diffraction System
結晶の格子定数や歪みを評価します。
s8.jpg 急速ランプ加熱炉
Rapid Thermal Annealing System
太陽電池のpn接合を形成します。
s11.jpg 少数キャリア拡散長測定装置
Measurement System for Minority Carrier Diffusion Length
SPV法により結晶シリコンの少数キャリア拡散長の面内分布を測定します。
p1050766.jpg 少数キャリアライフタイム測定装置(µ-PCD法)
Measurement System for Minority Carrier Lifetime
マイクロ波光電動減衰法により少数キャリアのライフタイムを測定します。
s14.jpg 分光光度計
Spectrophotometer
試料の反射率や透過率を測定をします。
p1050762.jpg ナノ空間分光顕微鏡
Nanofinder System
Raman散乱分光装置を基礎とし、歪みや組成の空間分布を光をプローブとして測定できます。
p1050761.jpg フォトルミネッセンスイメージング装置
Photoluminescence Imaging System
レーザで半導体を励起して、それによる半導体の発光をCCDで捉えます。結晶シリコンの欠陥の多い箇所は発光しにくいので、欠陥があるところを可視化できます。
p1050760.jpg フォトルミネッセンススペクトル測定装置
Photoluminescence Spectra Measurement System
半導体レーザで試料を励起したときのフォトルミネッセンス(発光)を分光器とGe検出器/光電子増倍管により測定します。
s19.jpg 擬定常光伝導度測定装置
Measurement System for Quasi-steady-state Photoconductivity
フラッシュランプを利用してシリコンの光伝導度の時間変化を測定することで、シリコン中の少数キャリアライフタイムを測定することができます。
s20.jpg フーリエ変換赤外分光光度計
Fourier Transform Infrared Spectrometer
赤外分光分析により結晶中の不純物測定などを行います。
s22.jpg 分析評価機能搭載走査型電子顕微鏡
Scanning Electron Microscope
結晶方位解析や元素分析も可能な走査型電子顕微鏡です。
s23.jpg スクリーン印刷機
Screen Printing System
金属ペーストを用いて、太陽電池の電極を印刷します。
p1050763.jpg DCマグネトロンスパッタリング装置
DC Magnetron Sputtring System
金属薄膜などを堆積することができます。
spectroscopic_ellipsometry.jpg 分光エリプソメーター Spectroscopic Ellipsometry反射光の偏光状態の変化を測定し、薄膜・多層膜構造の光学定数と膜厚を高精度かつ高速に求めることができます。

s1.jpg シリコン溶融凝固装置
Furnace for Growth of Crystalline Silicon Ingot
高品質シリコンバルク多結晶の成長を行います。
s2.jpg ガスソース線分子線エピタキシー装置
Gas-source Molecular Beam Epitaxy System
ガスを原料にしてシリコンやゲルマニウムの超薄膜の成長を行います。
テスト 結晶成長その場観察装置
In situ Observation System of Crystal Growth
デジタル顕微鏡と加熱チャンバーを組み合わせたシステムで結晶成長の様子をその場観察します。
s5.jpg 多元スパッタリング装置
Sputtering System with Multiple Targets
反射防止膜やアモルファス薄膜を成膜します。
img20200803205243323903.png 抵抗加熱蒸着装置
Resistive Heating Evaporator
基板加熱機構や基板移動機構を搭載しており、シリサイドの薄膜の成長用に使用しています。
p1050758.jpg 横型炉
Horizontal Furnace
6インチ角までの試料の熱処理を行います。
p1050765.jpg 太陽電池特性評価装置
Measurement System for Solar Cells
擬似太陽光を照射し、太陽電池の変換効率測定や分光感度特性を評価することができます。
s10-1.jpg ソーラーシミュレーター
Solar Simulator
156mm角の面積に擬似太陽光を照射することができます。
p1050764.jpg X線回折装置
X-ray Diffraction System
結晶の格子定数や歪みを評価します。
s8.jpg 急速ランプ加熱炉
Rapid Thermal Annealing System
太陽電池のpn接合を形成します。
s11.jpg 少数キャリア拡散長測定装置
Measurement System for Minority Carrier Diffusion Length
SPV法により結晶シリコンの少数キャリア拡散長の面内分布を測定します。
p1050766.jpg 少数キャリアライフタイム測定装置(µ-PCD法)
Measurement System for Minority Carrier Lifetime
マイクロ波光電動減衰法により少数キャリアのライフタイムを測定します。
s14.jpg 分光光度計
Spectrophotometer
試料の反射率や透過率を測定をします。
p1050762.jpg ナノ空間分光顕微鏡
Nanofinder System
Raman散乱分光装置を基礎とし、歪みや組成の空間分布を光をプローブとして測定できます。
p1050761.jpg フォトルミネッセンスイメージング装置
Photoluminescence Imaging System
レーザで半導体を励起して、それによる半導体の発光をCCDで捉えます。結晶シリコンの欠陥の多い箇所は発光しにくいので、欠陥があるところを可視化できます。
p1050760.jpg フォトルミネッセンススペクトル測定装置
Photoluminescence Spectra Measurement System
半導体レーザで試料を励起したときのフォトルミネッセンス(発光)を分光器とGe検出器/光電子増倍管により測定します。
s19.jpg 擬定常光伝導度測定装置
Measurement System for Quasi-steady-state Photoconductivity
フラッシュランプを利用してシリコンの光伝導度の時間変化を測定することで、シリコン中の少数キャリアライフタイムを測定することができます。
s20.jpg フーリエ変換赤外分光光度計
Fourier Transform Infrared Spectrometer
赤外分光分析により結晶中の不純物測定などを行います。
s22.jpg 分析評価機能搭載走査型電子顕微鏡
Scanning Electron Microscope
結晶方位解析や元素分析も可能な走査型電子顕微鏡です。
s23.jpg スクリーン印刷機
Screen Printing System
金属ペーストを用いて、太陽電池の電極を印刷します。
p1050763.jpg DCマグネトロンスパッタリング装置
DC Magnetron Sputtring System
金属薄膜などを堆積することができます。
spectroscopic_ellipsometry.jpg 分光エリプソメーター
Spectroscopic Ellipsometry

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